三坐标测座、测头系统
测座、测头系统是数据采集的传感器系统测头是三坐标的主要系统之一，是能进行复杂精密测量的基础。其中测座分为手动和自动两种，自动测座可自动旋转至指定位置，手动测座则只能旋转，自动的成本要高一些。根据功能分类，测头可分为触发式、扫描式、非接触式，触发式测头通用性强，采购成本较低。扫描式测头是通过线性电感器测出偏移量，技术含量更高，所以价格也要更高一些。
计算机和测量软件
这两者是三坐标测量机的数据处理中心。软件系统是完成测量过程的重要基础，好的测量系统应该是界面简单专业易操作，能完成一些复杂形状零件曲面的精密测量。软件功能稳定性不同，对价格也有一定得影响。操作软件方面，功能丰富易学易用，而且拥有高市场占有率，方便跟上下游制造商进行数据对接。
桥架材质
三坐标桥架材质很重要，关系着主机和测量的稳定性乃至测量精准度。一些厂商会采用大理石作为框架，不仅重，还会引起晃动而影响测量精度。作为对比三坐标横轴与Z轴表面采用表面硬质的阳极化航空铝合金，温度一致性优良，降低运动部件的重量和测量机在高速运行时的惯性，保证高速高精度。配合精密60°三角梁专利技术，降低机器运动时产生的惯性，提高机器精度、重复性和效率。